微小氣體質量流量計SCMFM

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

微小氣體質量流量計SCMFM 技術參數：

2.1  測量介質：各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min

DN6   60-600ml/min

DN8   80-800ml/min

DN10  100-1000ml/min

注：

a)以上流量的測量介質為空氣而言；

b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。

c) 每個口徑量程范圍均可擴大

d)特殊需要可單獨標定

2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。

的工作原理：

uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難"的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃)，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為x，速度為v，a為擴散率。

如上圖(式)所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。